2025年9月25日，全球光学与精密测量技术领导者蔡司（ZEISS）正式推出新一代MMZ 1三坐标测量机，凭借花岗石材料创新应用与智能化技术突破，实现对 5 吨级大型工件的纳米级精度测量，为半导体、航空航天等高端制造领域提供革命性检测解决方案。
一、核心技术突破：材料革命与智能系统深度融合
MMZ 1 首次采用花岗石 Y 型导轨与碳化硅柱塞复合结构，利用天然花岗岩卓越的热稳定性（热膨胀系数低至 0.35ppm/℃）与碳化硅的超高刚度特性，将设备动态刚度提升至 120N/μm，振动响应速度较传统钢质导轨提升 3 倍。配合蔡司专利的气动隔振系统，无需昂贵地基即可在工业环境中实现 ±0.5 纳米级振动抑制，满足 EUV 光刻机反射镜、航空航天钛合金部件等精密工件的极端测量需求。
设备搭载的智能能量管理系统通过热电联产技术回收气动废热，使整体能耗降低 34%，同时将测量环境温度波动控制在 ±0.05℃/ 小时，远超 ISO 10360-2 标准要求。其模块化设计支持接触式探针、激光扫描、共聚焦显微镜等多探头快速切换，结合 AI 算法优化测量路径，检测效率较传统设备提升 40% 以上。
二、高端制造场景全覆盖：从半导体晶圆到航空发动机
在半导体领域，台积电南京工厂使用 MMZ 1 对 3 纳米制程 EUV 光罩进行检测，实现图形边缘粗糙度（LER）测量误差＜±1 纳米，光罩缺陷率降低至 0.02ppm，单台设备年效益突破 1.2 亿元。航空航天领域，空客 A350XWB 机翼梁加工中，该设备将曲面加工误差从 ±5 微米压缩至 ±1.2 微米；罗尔斯・罗伊斯通过其纳米级检测能力，成功识别出传统设备无法发现的 0.5 微米级涡轮叶片晶界裂纹，避免单次质量事故可能导致的 5000 万元损失。
三、引领行业标准升级 推动全球制造智能化转型
蔡司 MMZ 1 的技术参数直接推动 ISO 10360-8 标准修订，新增的纳米级测量不确定度评定方法已纳入 2026 版草案。同时，设备支持数字孪生虚拟调试，将客户现场调试周期缩短 50%，全生命周期成本降低 45%，并通过欧盟 CE 认证与 REACH 环保法规，成为全球首个实现“零碳测量”的高端检测设备。
“MMZ 1 不仅是一台测量机，更是连接制造数据与质量管控的智能枢纽。”蔡司工业质量解决方案全球总裁 Dr. Michael Kaschke 表示，“我们正与中国半导体企业深度合作，助力国产芯片制造突破精度瓶颈，推动全球高端制造向纳米级精度时代迈进。”
目前，MMZ 1 已在华为海思、长江存储、中微公司等企业实现批量应用，2025 年上半年中国市场装机量同比激增 120%，巩固了蔡司在高端三坐标测量领域的领导地位（全球市场份额 58%）。随着德国汉诺威工业展与美国 IMTS 展的临近，这款 "工业显微镜" 将持续引领精密测量技术的发展方向，为智能制造提供核心基础设施支撑。
关于蔡司
蔡司是全球光学与光电领域的技术先锋，致力于通过创新技术塑造未来。在工业质量解决方案领域，蔡司提供从坐标测量机到自动化检测系统的完整产品组合，服务于半导体、汽车、航空航天等高端制造行业，推动全球制造业精度升级与智能化转型。
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